对于蓝宝石基板来说,它在成为一片合格的衬底之前大约经历了从切割、粗磨、精磨、以及抛光几道工序。以2英寸蓝宝石为例:
1. 切割:切割是从蓝宝石晶棒通过线切割机切割成厚度在500um左右的。在这项制程中,金刚石线锯是主要的耗材,目前主要来自日本、韩国与台湾地区。
2. 粗抛:切割之后的蓝宝石表面非常粗糙,需要进行粗抛以修复较深的刮伤,阀组件价格,改善整体的平坦度。这一步主要采用50~80um的B4C加Coolant进行研磨,研磨之后表面粗糙度Ra大约在1um左右。
3. 精抛:接下来是较精细的加工,因为直接关系到后成品的良率与品质。目前标准化的2英寸蓝宝石基板的厚度为430um,因此精抛的总去除量约在30um左右。考虑到移除率与后的表面粗糙度Ra,这一步主要以多晶钻石液配合树脂锡盘以Lapping的方式进行加工。
等离子刻蚀
硅片:硅单质材料的片状结构,厚度比较薄,主要有圆形和方形两种结构,有单晶和多晶之分。单晶是具有固定晶向的结晶体材料,单晶组件价格,一般用作半导体集成电路的衬底,也用于制作太阳能电池片。多晶是没有统一固定晶向的晶体材料,一般用于太阳能光伏发电,或者用于拉制单晶硅的原材料。单晶硅是一种优良的高纯半导体材料,IC级别的纯度要求达到9N以上(99.99999***),区熔单晶硅片甚至达到11N(99.9999999***)以上。通常通过直拉法(CZ)和区熔法(FZ)长晶得到,其晶向通过籽晶来决定。单晶硅是目前重要的半导体材料,组件价格,占据半导体材料市场的***,膜组件价格,是信息技术和集成电路的基础材料。
太阳能电池片由太阳能硅片制成,中间需经过一系列复杂的处理工艺,譬如扩散、制绒、蚀刻、镀膜、检测、印刷电极等。
太阳能电池片转换效率跟形状的关系
圆角的是单晶硅电池片, 方角矩形的是多晶硅电池片,同一种电池片的转换效率也是有高低的,按高转换率来说,单晶硅电池片的确比多晶硅电池片要高,当然,转换***的多晶也会比相对低的单晶要高。
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